<span id="be887060d0"></span><address id="bf8e5a2f42"><style id="bg70f96796"></style></address><button id="bl513c4ff8"></button>
                        

          您好 欢迎来到中国天空彩票与你同行  | 免费注册
           |   | 联系我们  | 帮助中心

          一种对金刚石进行快速精密刻蚀的技术

          关键词 金刚石 , 精密加工|2018-10-08 10:35:28|技术信息|来源 微系统与纳米工程
          摘要 深反应离子刻蚀(DRIE)可以对单晶金刚石进行精密加工,制造出独立的微机械元件。由于其高硬度和刚度以及低机械摩擦,金刚石是纳米和微米级元件极具吸引力的材料。然而,由于现有技术的限制...

          微信截图_20181008103350.png

                 深反应离子刻蚀(DRIE)可以对单晶金刚石进行精密加工,制造出独立的微机械元件。由于其高硬度和刚度以及低机械摩擦,金刚石是纳米和微米级元件极具吸引力的材料。然而,由于现有技术的限制(包括浅蚀刻深度和粗糙表面),金刚石的反应离子蚀刻技术一直有一定难度。日前,由瑞士洛桑理工学院的Niels Quack研究组开发出了一种深反应离子蚀刻的工艺,该工艺采用三层Al / SiO2硬掩模,可实现>30μm/ h的蚀刻速率和精确的特征尺寸控制。他们做出的单晶金刚石手表组件厚度为150微米,表面粗糙度在200纳米以下。这种新方法为大批量精密制造金刚石部件打下了基础。

                 Deep reactive ion etching of single crystal diamond enables precise fabrication of freestanding micro-mechanical components. Diamond is an attractive material for nano- and microscale components due to its high hardness and stiffness, coupled with low mechanical friction. However, reactive ion etching of diamond is challenging due to several limitations of existing techniques, including shallow etch depths and rough surfaces. 

                 Now, a team led by Niels Quack at EPFL in Switzerland report a deep reactive ion etching process that utilizes a three-layer Al/SiO2 hard mask that yields etch rates >30 µm/h and precise dimensional control of features. They demonstrate released single crystal diamond watch components with a thickness of 150 µm and surface roughness better than 200 nm. This new approach paves the way toward high-volume precise fabrication of diamond components.

                 Related paper: Precision micro-mechanical components in single crystal diamond by deep reactive ion etching

                 Microsystems & Nanoengineering 4, Article number: 12 (2018) 

                 doi:10.1038/s41378-018-0014-5

            ① 凡本网注明"来源:中国天空彩票与你同行"的所有作品,均为河南天空彩票与你同行技术有限公司合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明"来源:中国天空彩票与你同行"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
          ② 凡本网注明"来源:XXX(非中国天空彩票与你同行)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多二四六天天好彩免费资料大全信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。
          ③ 如因作品内容、版权和其它问题需要同本网联系的,请在30日内进行。
          ※ 联系电话:0371-67667020

          延伸推荐

          金刚石中硅空位中心系综的相干控制和波混频

          在过去十年中,金刚石中的色心已成为量子信息处理以及量子传感和计量应用的重要系统。带负电的提供了显著的光学性质,例如737nm处的零声子线荧光、对于低发射...

          日期 2019-02-19   超硬新闻

          华晶科技、慧征金刚石超硬材料重大项目集中投产

          2月13日,柘城县召开2019年重大项目高质量发展集中投产动员大会。商丘市副市长倪玉民、柘城县委书记梁辉等出席动员大会。据了解,这次柘城县集中投产的重大...

          日期 2019-02-15   超硬新闻
          沈阳圣源金刚石压机配件厂招聘简章

          沈阳圣源金刚石压机配件厂招聘简章

          沈阳圣源金刚石压机配件厂成立于1995年,位于东北工业重镇沈阳市,本厂从成立之日起就一直生产于钢环及大垫块,并为国内外多家厂商提供着优质的服务,20年屹...

          日期 2019-02-14   超硬新闻

          黄河旋风金刚石线项目入选 2019年河南省重点建设项...

          新春伊始,据《河南省发展和改革委员会关于印发2019年河南省重点建设项目名单的通知》(豫发改建设【2019】19号),河南黄河旋风股份有限公司新材料加工...

          日期 2019-02-13   上市公司

          【项目推介】金刚石表面化学镀镍磷合金新技术寻求合作

          在超硬材料与制品行业,解决金刚石表面化学镀镍磷合金存在的“粘连”等问题是行业所面临的重要挑战。因此,业内不少有志之士致力于该项课题的研究,目前,一种新工艺的开发促使金刚石表面化学镀...

          日期 2019-02-12   超硬新闻

          氧化金刚石有望制成NV量子传感器!

          金刚石中的浅氮空位(NV)中心在量子传感应用中很有前途,但其灵敏度受表面终止剂和缺陷的限制。立即寻求为NV传感器找到合适的金刚石表面。在这项工作中,通过...

          日期 2019-02-11   超硬新闻

          法国电视台眼中的豫金刚石 | 势必为中华民族钻石争光

          2017年,CCTV2央视财经频道到访华晶公司参观拍摄,首次为培育钻石助力发声。2018年,华晶应邀录制全球首个行业纪录片《世界趋势—培育钻石的崛起》2...

          日期 2019-01-30   上市公司

          鄂州金刚石刀具加工业困中求变

          图为:湖北昌利超硬材料公司近年来与中国地质大学、中南科技大学、郑州三磨研究所等单位联手,研发的金刚石系列产品质量与销售增长率均居国内同行前列,并出口欧美...

          日期 2019-01-25   超硬新闻

          中南大学在泡沫金刚石研究方面取得新突破

          中南大学薄膜材料与表面技术研究团队一直围绕金刚石涂层在超硬刀具涂层、有机废水处理、先进热管理材料和生物传感器等领域的应用开展深入研究,并率先提出采用化学...

          日期 2019-01-24   超硬新闻
          河南省功能金刚石材料创新中心正式认定

          河南省功能金刚石材料创新中心正式认定

          1月16日,河南省工业和信息化厅、发展改革委、科技厅、财政厅等四部门联合下发通知,认定河南省新型工业成像技术创新中心、河南省高效能铝基新材料创新中心、河...

          日期 2019-01-24   超硬新闻